晶圆探针台卡盘电磁屏蔽盘

电子束光刻机（EBL）镜筒磁屏蔽内衬

聚焦离子束（FIB）镜筒屏蔽罩

晶圆搬运机器人（EFEM）关节电机屏蔽套

薄膜椭偏仪/光谱反射计偏振光路屏蔽腔

扫描电镜（SEM）二次电子探测器（SE/BSE）屏蔽盒

涂胶显影机（Track）质量流量控制器（MFC）屏蔽罩

激光干涉仪测量平台（光刻机工件台）磁屏蔽罩

等离子体刻蚀/沉积（ICP/PECVD）RF匹配网络屏蔽板

先进封装热压键合（TCB）焊头磁场隔离片