离子泵 磁屏蔽

离子泵 磁屏蔽 - 磁屏蔽

离子泵磁屏蔽是专为超高真空离子泵、溅射离子泵、真空维持泵配套的专用精密磁屏蔽防护组件,采用高导磁低剩磁MuMETAL坡莫合金经精密成型与真空退火工艺制成,整体包覆离子泵泵体、磁场线圈与真空接口区域。

离子泵依靠强磁场约束电子轰击气体分子实现超高真空抽取,设备自身永磁体与励磁线圈会产生大范围杂散外泄磁场,同时外界地磁场、实验室工频磁噪、设备电磁干扰也会反向侵入真空腔体,极易造成电镜、HSA能量分析仪、薄膜沉积、精密光束光路发生束偏、漂移、成像失真与测试数据偏差。

离子泵磁屏蔽通过磁路分流闭合原理,对内束缚泵体工作磁场外泄,对外阻隔环境杂磁侵入腔体,实现双向磁隔离,彻底解决超高真空系统内部磁串扰难题,广泛应用于电镜设备、表面分析仪器、量子真空系统、精密镀膜等高精尖真空设备领域。


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