扫描电镜(SEM)二次电子探测器(SE/BSE)屏蔽盒

扫描电镜(SEM)二次电子探测器(SE/BSE)屏蔽盒 - 磁屏蔽

扫描电镜的成像分辨率极高,任何微弱的杂散磁场(如地磁场、物镜漏磁等)都可能干扰电子束轨迹,或影响探测器(特别是其中的光电倍增管 (PMT))的工作。这种干扰会叠加在探测信号上,表现为图像出现条纹、雪花噪点或衬度异常,严重时会使高倍成像无法对焦

我们的屏蔽盒直接为探测器构建了一个局部的“磁静区”。其核心原理是利用坡莫合金的高磁导率,为干扰磁场提供一条低磁阻的“旁路”,引导磁力线从屏蔽盒壁流过,从而保护内部的探测器


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