冷阴极电离真空规 磁屏蔽

冷阴极电离真空规 磁屏蔽 - 磁屏蔽

冷阴极电离真空规磁屏蔽是专为潘宁规、倒置磁控管式冷阴极电离真空计定制的高精度专用磁屏蔽组件,采用高导磁低剩磁MuMETAL合金经真空退火精密成型,适配高真空、超高真空腔体规管安装结构。

冷阴极电离真空规依靠交叉电磁场约束电子螺旋运动、维持潘宁放电实现10⁻²~10⁻¹¹mbar宽量程真空检测,设备自带固有偏置磁场,对外界地磁场漂移、车间工频杂磁、离子泵、电机、线缆漏磁极度敏感,外部杂磁会叠加规管固有磁场,造成电子轨迹畸变、放电不稳定、离子电流偏移、真空示值漂移、低压起振困难、测量重复性变差等问题。

本屏蔽通过精准磁路分流原理,隔离外部干扰磁场、稳定规管内部磁场基准,保留设备工作所需基础磁场,杜绝磁源性测量误差,广泛应用于真空镀膜、半导体工艺、精密理化设备、高能真空实验等高精密真空检测场景。


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