电子束磁屏蔽
电子束磁屏蔽是专为电子束精密制程设备研发的高精度弱磁屏蔽系统，适配扫描电镜SEM、透射电镜TEM、电子束曝光机、电子束焊接机、电子束镀膜与微纳加工设备，采用多层高导磁低剩磁坡莫合金复合结构整体包覆电子束光路、偏转腔体与加工工作区域。
电子束对空间微弱磁场偏移高度敏感，地磁场漂移、车间工频杂散磁场、设备电机漏磁、动力线缆电磁耦合均会造成电子束偏移、束斑扩散、聚焦畸变、扫描失真、焊缝偏移与成像模糊等问题。
本产品通过磁分流屏蔽原理构建高均匀、低梯度、近零磁本底的纯净光路环境，有效约束电子束运行轨迹，抑制磁致束流误差，保障电子束设备的聚焦精度、成像清晰度与加工一致性，是高端精密电子束设备实现纳米级、微米级高精度制程的核心配套屏蔽系统。
