在晶圆级半导体测试中，探针台（Prober Station）通过卡盘（Chuck）承载晶圆，由探针卡（Probe Card）上的探针与晶圆上的焊垫（Pad）接触，完成对集成电路（IC）的电性测试与验证。然而，地磁场（约25–65 μT）以及探针卡自身信号走线电流产生的磁场，足以干扰被测器件（DUT，Device Under Test）区域内的微弱电信号测量。对于磁阻传感器、磁通门传感器等磁敏感器件，环境磁场可能导致测试参数漂移、测量误差增大，甚至使低至fA级的漏电流测量完全失效。

我们的晶圆探针台卡盘电磁屏蔽盘正是为此而生——采用高磁导率坡莫合金（MuMETAL® / 1J85）精密成型，直接集成于卡盘与探针卡之间的DUT区域，在探针尖端周围构建一道高衰减、低剩磁的磁隔离屏障，有效屏蔽来自地磁场、测试机台及周边设备的低频磁场干扰。已有多项专利证实，在探针卡中集成磁屏蔽层可提供更高效、更低成本的磁场屏蔽方案

• 极近源屏蔽，精准保护DUT区域：屏蔽盘直接布置于探针尖端所包围的DUT区域上方/周围，从干扰进入测量节点的“最后一毫米”处实施屏蔽，效果远优于外置的大型磁屏蔽腔体。

• 高磁导率材料，高效衰减低频磁场：采用相对磁导率≥80,000的坡莫合金，对地磁场及探针卡走线产生的DC–1kHz低频磁场提供>60 dB的衰减，满足磁敏感器件对<50 μT环境磁场的严苛要求。

• 超薄精密成型，不改变探针卡结构：采用0.1–0.5 mm超薄箔材精密冲制，可直接集成于探针卡机械支撑夹具内，不改变探针卡的原有机械结构与信号路径。

• 低剩磁设计，不引入额外偏差：经精密氢气退火处理，屏蔽盘自身剩磁<0.05 µT，不会对探针卡信号及DUT测试引入额外的磁场偏置。

• 兼容多品牌探针台与探针卡：适配Tokyo Electron、MPI Corporation、Cascade Microtech（FormFactor） 等主流探针台及悬臂式/垂直式探针卡，支持按卡盘尺寸与探针布局定制

晶圆探针台卡盘电磁屏蔽盘的性能，核心体现在对晶圆测试精度与良率的直接保障上：

• 磁敏感器件测试精度保障：将DUT区域的残余磁场从环境水平（>50 μT）降至<5 μT，满足磁阻传感器、磁通门传感器等磁敏感IC的晶圆级测试要求。

• 低漏电流测量精度保障：有效屏蔽地磁场及测试机台产生的低频干扰，保障fA级（10⁻¹⁵ A）超低漏电流测量的稳定性与重复性。

• 探针卡走线磁场自衰减：屏蔽盘的磁屏蔽层同时衰减探针卡自身信号走线中电流产生的磁场，消除信号线间的磁串扰。

• 高温稳定性：在探针台-60°C至+300°C的宽温区测试环境下，屏蔽盘的磁导率衰减<10% ，确保全温区屏蔽效能一致