光电子能谱仪(XPS/UPS)电子能量分析器屏蔽罩

光电子能谱仪(XPS/UPS)电子能量分析器屏蔽罩 - 磁屏蔽

光电子能谱仪(XPS/UPS)电子能量分析器屏蔽罩是专为X射线光电子能谱、紫外光电子能谱设备半球形电子能量分析器(HSA)量身定制的高精度专用磁屏蔽组件,采用高导磁低剩磁MuMETAL合金经真空退火精密曲面成型,完全贴合分析器光路、电子聚焦区、偏转扫描区及信号采集区域一体化包覆。

XPS/UPS依靠精准捕获光电子、俄歇电子能量分布实现材料表面价态、元素组分与能带结构分析,低能量光电子飞行轨迹极弱,对地磁场漂移、实验室工频杂散磁场、真空设备泵体漏磁、周边仪器电磁串扰高度敏感,极易出现电子偏转、信号衰减、谱线位移、半峰宽增大、基线噪声抬升、测试重复性变差等问题。

本屏蔽依托曲面闭环磁分流原理,构建超低梯度、近零磁本底的纯净电子检测环境,稳定光电子飞行路径与能量分析基准,从根源消除磁致检测误差,是保障XPS/UPS超高精度表面分析的核心精密屏蔽配件。


采用分析器专属曲面贴合屏蔽结构,完美匹配半球形能量分析器异形轮廓,无拼接缝隙、无曲面磁漏死角,相比常规平板、圆筒屏蔽可彻底解决分析器边缘磁场梯度不均导致的电子散射误差,全方位提升谱线采集均匀性;

采用高纯真空退火MuMETAL软磁合金材质,具备超高弱磁灵敏度、极低矫顽力与近零剩磁特性,无磁滞累积、无二次磁化干扰,不会在光路区域形成偏置磁场,不改变光电子原始能量与运动轨迹,长期连续测试无基准漂移;

精准预留样品探测口、电子入射光路、信号采集通道与设备法兰位,不遮挡有效分析区域、不影响真空腔体密封性与超高真空洁净度,无放气、无析出、不污染精密分析腔体;

宽温域磁性能稳定,可抵御实验室温变、设备长期运行温升带来的磁性能波动;

兼容全系商用XPS、UPS能谱设备,支持新机预装与老旧设备分辨率、重复性精度升级改造。


该XPS/UPS电子能量分析器专用屏蔽罩具备优异的弱磁抑制与磁场均衡性能,可高效衰减直流地磁场、空间静磁漂移与50Hz工频交变磁噪,大幅压低分析器工作区域本底磁场与磁场梯度,有效矫正低能光电子飞行轨迹,显著优化谱线峰位精度、降低半峰宽、提升能量分辨率与信号信噪比;

材料磁性能热稳定性极佳,全温域工况下磁导率无衰减、无热致磁漂移,长时间连续扫描、多点测试、深度分析全程无基线偏移、无数据漂移,保障实验数据一致性与可溯源性;

屏蔽结构刚性强、曲面精度高、抗微振动、抗环境气流扰动,可隔绝实验室微弱震动耦合磁干扰,持续稳定微弱光电子信号采集效率;

长期超高真空工况无磁疲劳、无材质老化、屏蔽性能无衰减,持续维持XPS/UPS设备超高精密表面分析能力。


检测指标技术参数参数说明
直流静磁场屏蔽衰减率≥98.5%高效抵消地磁场漂移与空间弱磁干扰
工频低频磁场屏蔽衰减率≥96%抑制实验室工频杂磁与真空设备漏磁干扰
分析器区域残余磁场≤5nT构建光电子检测超纯净低磁噪工作环境
局部磁场梯度≤0.05nT/mm杜绝光电子偏转、谱线漂移与分辨率下降
磁致检测误差优化率≥95%显著降低基线噪声、峰位偏移与半峰宽劣化
适配设备XPS光电子能谱仪、UPS紫外光电子能谱仪适配全系半球形电子能量分析器系统
工作温度范围-40℃~+125℃全温域磁性能稳定,无热致检测漂移
工况适配特性超高真空兼容、低放气、洁净无析出满足高端表面分析仪器真空洁净标准
核心材质真空退火MuMETAL高导磁合金超低剩磁、无二次磁化、曲面屏蔽均匀性优异
设计使用寿命≥30万小时长期精密分析工况屏蔽性能无衰减

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