扫描电镜(SEM)二次电子探测器(SE/BSE)屏蔽盒

扫描电镜(SEM)二次电子探测器(SE/BSE)屏蔽盒 - 磁屏蔽

扫描电镜的成像分辨率极高,任何微弱的杂散磁场(如地磁场、物镜漏磁等)都可能干扰电子束轨迹,或影响探测器(特别是其中的光电倍增管 (PMT))的工作。这种干扰会叠加在探测信号上,表现为图像出现条纹、雪花噪点或衬度异常,严重时会使高倍成像无法对焦

我们的屏蔽盒直接为探测器构建了一个局部的“磁静区”。其核心原理是利用坡莫合金的高磁导率,为干扰磁场提供一条低磁阻的“旁路”,引导磁力线从屏蔽盒壁流过,从而保护内部的探测器


  • 显著提升图像信噪比:屏蔽盒能有效衰减环境中50Hz工频及DC至1kHz的低频磁场干扰,显著降低图像中的条纹和背景噪声,提升信噪比。

  • 保障探测器核心组件稳定:有效保护Everhart-Thornley(ET)探测器内的PMT闪烁体,免受外部磁场干扰而出现增益波动,确保信号放大的稳定性

  • 精密制造,安装便捷:采用0.2mm至1.0mm的薄板精密加工而成,可定制以匹配不同品牌和型号的SEM,确保安装简便且不干扰原有光路。

  • 兼容性强:可对SE、BSE等多种类型的探测器进行屏蔽。针对BSE探测器,还可通过设计屏蔽盒上的不同窗口或偏压,实现对不同能量电子的选择性探测


  • 高效磁场衰减:经实践验证,高磁导率坡莫合金屏蔽盒在DC至1kHz频段,能提供大于60dB的衰减

  • 极低自身剩磁:经优化的退火工艺可将屏蔽盒自身剩磁控制在极低水平(如 <0.05 µT),避免引入新的磁场干扰

  • 出色的温度稳定性:在SEM设备20-40°C的典型工作温度范围内,其磁导率衰减小于5%,性能非常稳定。


指标项目参数 / 详情
屏蔽材料MuMETAL® / Co-NETIC® / 1J85 高磁导率坡莫合金
相对磁导率 (μr)典型值 80,000 - 100,000
典型厚度0.2 – 1.0 mm(按需定制)
屏蔽结构精密冲制盒状/罩状,贴合探测器外形
屏蔽衰减 (DC–1kHz)> 60 dB
自身剩磁< 0.05 µT(经氢气退火处理)
工作温度室温 – 40°C
高温磁导率衰减< 5%(@40°C)
定制能力可按SEM品牌(如FEI, Zeiss, JEOL, Hitachi)及探测器型号定制


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