离子泵 磁屏蔽

离子泵 磁屏蔽 - 磁屏蔽

离子泵磁屏蔽是专为超高真空离子泵、溅射离子泵、真空维持泵配套的专用精密磁屏蔽防护组件,采用高导磁低剩磁MuMETAL坡莫合金经精密成型与真空退火工艺制成,整体包覆离子泵泵体、磁场线圈与真空接口区域。

离子泵依靠强磁场约束电子轰击气体分子实现超高真空抽取,设备自身永磁体与励磁线圈会产生大范围杂散外泄磁场,同时外界地磁场、实验室工频磁噪、设备电磁干扰也会反向侵入真空腔体,极易造成电镜、HSA能量分析仪、薄膜沉积、精密光束光路发生束偏、漂移、成像失真与测试数据偏差。

离子泵磁屏蔽通过磁路分流闭合原理,对内束缚泵体工作磁场外泄,对外阻隔环境杂磁侵入腔体,实现双向磁隔离,彻底解决超高真空系统内部磁串扰难题,广泛应用于电镜设备、表面分析仪器、量子真空系统、精密镀膜等高精尖真空设备领域。


采用双向屏蔽结构设计,既可收敛离子泵外泄强磁场,又可阻挡外部环境杂磁入侵真空腔体,解决超高真空设备最常见的泵体磁干扰痛点,是真空系统磁兼容整改的核心配件;

采用高纯度MuMETAL软磁合金材质,经过专业真空退火处理,弱磁屏蔽性能极佳、剩磁极低、无磁滞累积,长期运行不会产生二次磁化干扰,不污染真空腔体磁环境;

整体闭环包覆结构无拼接磁漏死角,屏蔽均匀性高,可大幅降低真空腔体全域磁场梯度,避免局部磁扰动导致的精密仪器误差;

结构贴合离子泵外形精准成型,预留通气、接线、固定安装位,不影响离子泵抽气性能、真空度与散热条件,完全兼容超高真空工况、无放气、无析出、无粉尘污染;

适配各规格溅射离子泵、微型离子泵、大流量真空离子泵,可直接新机配套或老旧设备升级改造,无需改动整机真空管路与设备结构。


该离子泵专用磁屏蔽具备优异的双向磁隔离性能,对内高效吸附收敛离子泵工作产生的外泄杂散磁通,大幅降低真空系统外部磁辐射,对外稳定衰减地磁场、工频交变磁场与设备电磁漏磁干扰,显著优化真空腔体内部磁本底环境;

材料磁性能热稳定性优异,设备长期通电发热、环境温变工况下磁导率无衰减、无热致磁漂移,屏蔽效能长期稳定一致;

屏蔽结构刚性强、抗振动、耐疲劳,适配实验室与精密产线长期连续运行,不会因设备震动出现屏蔽松动、磁漏增大等问题;

可有效改善关联精密设备光路稳定性、粒子轨迹一致性与谱线测试重复性,杜绝离子泵磁干扰引发的成像模糊、分析漂移、工艺偏移问题,全面提升超高真空系统整体精度与运行稳定性。


检测指标技术参数参数说明
离子泵外泄磁场屏蔽率≥97%大幅收敛泵体工作磁场外泄,降低腔体磁干扰
外部杂磁屏蔽衰减率≥98%阻隔地磁场、工频磁噪反向侵入真空腔体
腔体残余磁梯度优化≤0.05nT/mm构建真空系统均匀低磁噪工作环境
磁致设备误差降低率≥95%消除电镜、分析仪、光路磁偏移与漂移问题
适配工况高真空/超高真空UHV无放气、无析出、不影响真空性能
适配设备溅射离子泵、真空离子泵、超高真空维持泵适配全系真空离子泵规格
工作温度范围-40℃~+125℃全温域磁性能稳定,无热致屏蔽漂移
核心材质MuMETAL高导磁退火合金低剩磁、无二次磁化、弱磁屏蔽性能优异
抗振动等级10g/1000Hz适配精密实验室长期稳定工况
设计使用寿命≥30万小时长期真空工况屏蔽性能无衰减、无老化

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